微细铠装热电偶是一种高精度、高灵活性的温度测量传感器，广泛应用于半导体、医疗、航空航天、新能源等对温度敏感且空间受限的领域。其特别的结构设计和先进的技术特性使其在精密测温方面具有明显优势。
一、结构特点
1.热电偶丝：通常采用铂铑、镍铬-镍硅(K型)、钨铼等高精度合金材料，直径可细至0.1~0.53mm，确保较高的温度灵敏度和响应速度。
2.绝缘层：采用氧化镁(MgO)或陶瓷粉末作为绝缘介质，填充在热电偶丝与金属套管之间，提供优异的电气绝缘性能，同时保持良好的热传导性。
3.金属保护套管：一般选用不锈钢(如316L、Inconel)、镍基合金或钛合金，具有耐高温、耐腐蚀、抗机械损伤的特性，同时保持极小的外径(通常0.5~3mm)，适用于狭窄空间。
此外，微细铠装热电偶可制成单支、双支或多支组合形式，并可根据需求定制不同长度、直径和接头类型，以适应各种复杂工况。
二、技术优势
1.高精度与快速响应
由于热电偶丝直径极小，热容量低，能够快速感知温度变化，响应时间可达毫秒级，适用于动态温度监测，如半导体晶圆加工、激光器温控等。
2.超小尺寸，适应狭小空间
微细铠装热电偶的外径可低至0.5mm，能够深入微小结构内部(如芯片、微型反应器、医疗器械)，实现精准点测温，而传统热电偶难以胜任。
3.耐高温与抗干扰
采用铠装结构，内部热电偶丝受到金属管和绝缘层的多重保护，可在高达1200°C甚至更高温度下稳定工作，同时减少电磁干扰，保证信号稳定性。
4.高柔性与耐用性
铠装结构使其具备良好的弯曲性能，可适应复杂安装路径，同时金属套管提供机械保护，延长使用寿命，适用于振动、冲击等严苛环境。
5.多样化应用适配
可根据不同行业需求，选用抗氧化型(如Inconel套管)、耐腐蚀型(如哈氏合金)、超高温型(如钨铼合金)，满足半导体、化工、能源等领域的特殊要求。
微细铠装热电偶凭借其微小尺寸、高精度、快速响应和强适应性，成为现代精密测温技术的关键元件。随着微电子、新能源和制造的发展，其应用前景将更加广阔。
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